CVD-Beschichtungen - Eigenschaften
CVD-Beschichtungen – Hart und stark
Bei der chemischen Gasphasenbeschichtung nach dem CVD-Prinzip findet an der erhitzten Oberfläche des zu beschichteten Werkstücks (Substrat) eine chemische Gasphasenreaktion statt, d. h. aus zwei oder mehr gasförmigen Komponenten, die das Substrat bei Beschichtungstemperaturen von 800°C bis 1000° C umströmen, scheidet sich eine Feststoffkomponente als Schicht gleichförmig auf die gesamte Werkstoffoberfläche ab.
Vorausetzung für die Abscheidbarkeit eines bestimmten Schichtwerkstoffes ist die Verfügbarkeit sogenannter Precursoren, flüchtiger Verbindungen, die diese Schichtwerkstoffbestandteile erhalten.
Weil die Reaktionstemperaturen bei den CVD–Prozessen die Härtegefüge in Glühgefüge überführen ist in der Regel eine thermische Nachbehandlung erforderlich, um Maß- oder Härteverlust, Verzug o. ä. wieder auszugleichen.
Aufgrund der hohen Beschichtungstemperaturen wird das Interface, die Übergangszone, Schicht und Grundwerkstoff, als Diffusionszone ausgebildet. Dadurch verfügen CVD–Schichten über eine ausgezeichnete Haftung.
Die hohen Beschichtungstemperaturen tragen auch dazu bei, dass CVD-Schichten besonders eigenspannungsarm sind, so dass Schichtdicken bis zu 20 µm realisiert werden können. Üblicherweise liegen die Schichtdicken zwischen 5 und 10 µm.
Leistungen allgemein
